在半導體制造過程中，晶圓需要經(jīng)歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內(nèi)進行，其所在生產(chǎn)車間環(huán)境參數(shù)的微小偏差，可能會導致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，導致產(chǎn)品性能大幅下降。

依托自主研發(fā)技術，江蘇克力空調(diào)有限公司的高精密恒溫恒濕系統(tǒng)的溫控精度可達 ±0.07℃，為半導體先進制程提供環(huán)境保障。目前，超高精密恒溫恒濕環(huán)控系統(tǒng)已服務多家芯片半導體領軍企業(yè)以及重點實驗室。

克力超高精密環(huán)控系統(tǒng)

三大自研科技精準護航

在精密環(huán)境控制領域，核心技術的自主研發(fā)能力是衡量企業(yè)實力的關鍵標尺。克力憑借三大核心自研科技 —— 超高精密傳感器、超高精密控制器、超高精密執(zhí)行器，構(gòu)建起全鏈路自主可控的技術體系，為環(huán)境超高精度控制提供底層支撐。

精準感知 | 超高精密傳感器

環(huán)境參數(shù)的精準捕捉是高精度控制的前提，克力搭載自主研發(fā)傳感技術，實時捕捉溫度等關鍵參數(shù)的細微波動。該傳感器經(jīng)國家計量檢測機構(gòu)權(quán)威認證，測溫精度達到 ±0.001℃的超高水準，有效規(guī)避外部因素對數(shù)據(jù)采集的干擾，提供真實、有效的原始數(shù)據(jù)支撐。目前，這一精度表現(xiàn)已達到國內(nèi)行業(yè)TOP3水平。

智能解析 | 超高精密控制器

依托克力自主研發(fā)的智能控制算法，結(jié)合高精度傳感反饋機制，實現(xiàn)毫秒級快速響應與智能解析。該技術可精準匹配不同場景下的控制需求，確保調(diào)控動作的及時性與準確性。目前，相關技術已獲得多項發(fā)明專利及軟件著作權(quán)，不僅體現(xiàn)技術的合規(guī)性與先進性，更以標準化的技術領航行業(yè)發(fā)展。

協(xié)同保障 | 超高精密執(zhí)行器

在執(zhí)行層面，克力通過超高精密執(zhí)行器與精密傳感器、智能控制器的深度協(xié)同，構(gòu)建起閉環(huán)式精密執(zhí)行體系。該體系以毫秒級響應速度，將控制器輸出的調(diào)控指令精準轉(zhuǎn)化為執(zhí)行動作，實時修正環(huán)境參數(shù)偏差，確保系統(tǒng)始終維持在預設的高精度運行區(qū)間。

24小時不間斷

克力項目現(xiàn)場實時檢測

在克力某半導體光刻工藝實驗室項目中，環(huán)境要求需維持23士0.3°C、45士3%RH的嚴格條件，確保掩膜版與硅片熱膨脹系數(shù)匹配，減少套刻誤差。克力空調(diào)超高精密恒溫恒濕系統(tǒng)24小時穩(wěn)定度經(jīng)中國計量學院檢測：在設定點23℃下，溫度波動僅為 23℃±0.07℃，系統(tǒng)核心區(qū)域的溫度變化被精準地控制在極其狹窄的區(qū)間內(nèi)； 在設定點45.0%相對濕度下，相對濕度波動范圍僅為±1.6%；溫度均勻度達 0.18℃，相對濕度均勻度為 0.9%，共同保證整個空間環(huán)境參數(shù)的高度均一與穩(wěn)定。

克力定制化全周期解決方案

憑借不斷創(chuàng)新的技術實力、定制化解決方案與全周期服務保障，克力空調(diào)高精密恒溫恒濕環(huán)境控制系統(tǒng)已深度服務于全球半導體、光學、航空航天、精密制造、軍工領域的優(yōu)秀企業(yè)及重點科研院所。

江蘇克力空調(diào)有限公司以 ±0.07℃溫控精度、±1.6% RH 濕度控制精度為核心競爭力，搭配自主研發(fā)的智能調(diào)控算法與節(jié)能技術，為各行業(yè)科研攻關與規(guī)?；a(chǎn)提供恒穩(wěn)環(huán)境保障。相信在未來，克力空調(diào)將繼續(xù)秉持技術領先的理念，為市場帶來更多優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務，引領行業(yè)邁向更高的精度標準。