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一、行業痛點:半導體制造的極致環境要求
半導體制造是一場“微觀世界的精準戰役”,蝕刻、涂層、光刻等核心制程對環境參數的敏感度達到極致。溫度、濕度的微小偏差,都可能導致晶圓材料物理性質改變,進而引發芯片性能下降、良率暴跌。傳統環控系統難以滿足先進制程的高精度需求,如何實現環境參數的穩定可控,成為制約半導體產業升級的關鍵瓶頸。在此背景下,江蘇克力空調的高精密恒溫恒濕系統以±0.07℃溫控精度、±1.6% RH 濕度控制精度,為行業提供了高效解決方案。

二、核心支撐:三大自研科技筑牢精度基石
克力空調的核心競爭力,源于全鏈路自主可控的三大自研科技,從感知到執行實現精準閉環。
“精準感知”,自主研發的超高精密傳感器堪稱“環境監測利器”。經國家計量檢測機構認證,測溫精度達±0.001℃,可實時捕捉參數細微波動,規避外部干擾,提供可靠原始數據,該精度已躋身國內行業前三。
“智能解析”,超高精密控制器憑借自研智能算法與傳感反饋機制,實現毫秒級響應,精準匹配不同工藝需求。多項發明專利與軟件著作權的加持,既保障了技術合規性,也以標準化引領行業發展。
“協同執行”,超高精密執行器與傳感器、控制器深度協同,構建閉環執行體系。以毫秒級速度將調控指令轉化為實際動作,實時修正參數偏差,確保系統穩定在預設高精度區間。
三、實戰驗證:數據見證穩定表現
在某半導體光刻工藝實驗室項目中,克力空調的技術實力得到充分檢驗。該項目要求環境維持23±0.3℃、45±3% RH,以保障掩膜版與硅片熱膨脹系數匹配,減少套刻誤差。
經中國計量學院檢測,系統在23℃設定點下,溫度波動僅±0.07℃,核心區域溫度變化被精準鎖定;相對濕度波動±1.6%,溫度均勻度達0.18℃,濕度均勻度0.9%。24小時不間斷穩定運行,全方位確保空間環境參數的均一性,為光刻工藝精準實施筑牢基礎。

四、廣泛應用:賦能多領域高端場景
憑借技術創新、定制化方案與全周期服務,克力空調的環控系統已深度服務全球多高端領域。不僅成為多家芯片半導體領軍企業及重點實驗室的合作伙伴,還深度服務于光學、航空航天、精密制造、軍工等行業,為科研攻關與規模化生產提供穩定環境保障。自研的智能調控算法與節能技術,實現了高精度與低能耗的平衡,滿足不同場景的個性化需求。
五、未來展望:引領行業精度升級
作為精密環境控制領域的標桿企業,克力空調以極致參數樹立行業新標桿。未來,公司將持續秉持技術領先理念,深耕核心技術研發,突破精度邊界。通過推出更多優質產品與服務,引領行業向更高精度標準邁進,為全球半導體及高端制造業的創新發展,注入穩定、高效的環境動力,助力產業實現質量與效率的雙重提升。

