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在半導體芯片制造領域,精密工藝對環境的要求極高。從晶圓光刻、蝕刻到芯片封裝測試,溫度與濕度的微小波動,成為影響產品良率的關鍵隱患。高精密恒溫恒濕空調系統作為高端制造核心裝備,為半導體產業穩定量產及“中國芯”自主化發展提供堅實的環境保障。
半導體制造對環境的敏感度遠超常規工業場景,溫度波動易導致晶圓熱膨脹系數偏移,引發光刻套刻誤差,直接造成芯片電路故障;濕度管控不當則風險疊加——濕度過高時,水蒸氣在晶圓表面凝結,導致光刻膠涂布不均、金屬引線氧化,造成良率顯著下滑;濕度過低易產生靜電,擊穿敏感器件,引發產品缺陷。
依據ISO 5級潔凈車間標準,半導體核心制程需將溫度穩定在22±0.5℃、相對濕度控制在45±5%RH;先進制程對環境精度的要求更為嚴苛,傳統空調的粗放式調控已無法適配產業升級需求。
針對半導體行業的極致環境需求,克力高精密恒溫恒濕環境控制系統依托“感知-解析-執行”全鏈路自研技術,重構精密環境控制標準,實現從被動調控向主動預判的跨越。

“精準感知”,自主研發的超高精密傳感器堪稱“環境監測利器”。經國家計量檢測機構認證,測溫精度達±0.001℃,可實時捕捉參數細微波動,規避外部干擾,提供可靠原始數據,該精度已躋身國內行業前三。
“智能解析”,超高精密控制器憑借自研智能算法與傳感反饋機制,實現毫秒級響應,精準匹配不同工藝需求。多項發明專利與軟件著作權的加持,既保障了技術合規性,也以標準化引領行業發展。
“協同執行”,超高精密執行器與傳感器、控制器深度協同,構建閉環執行體系。以毫秒級速度將調控指令轉化為實際動作,實時修正參數偏差,確保系統穩定在預設高精度區間。
憑借技術創新、定制化方案與全周期服務,克力空調的環控系統已深度服務全球眾多高端領域。不僅成為多家芯片半導體領軍企業及重點實驗室的合作伙伴,還深度服務于光學、航空航天、精密制造、軍工等行業,為科研攻關與規模化生產提供穩定環境保障。自研的智能調控算法與節能技術,實現了高精度與低能耗的平衡,滿足不同場景的個性化需求。
作為精密環境控制領域的標桿企業,克力空調以極致參數樹立行業新標桿。未來,公司將持續秉持技術領先理念,深耕核心技術研發,突破精度邊界。通過推出更多優質產品與服務,引領行業向更高精度標準邁進,為全球半導體及高端制造業的創新發展,注入穩定、高效的環境動力,助力產業實現質量與效率的雙重提升。

